半導体i線レジストの感度と耐熱性の両立はかんたんに実現できることをご存知ですか？
PHENOLITE® PR-700シリーズなら、高感度i線レジストで求められる高い感度と耐熱性の両立を実現。
貴社は採用いただくだけで、近年、注目を集める半導体の中・後工程用レジストでの耐久性要求にも対応できるようになります。
PHENOLITE® PR-700シリーズが選ばれる3つの理由
①半導体ｉ線レジストの感度と耐熱性の両立を実現！
- PR-700シリーズは、化学増幅型ノボラック由来の感度・高コントラスト、耐久性（エッチング耐性等）が特徴で、さらにDIC独自のポリマ設計により、従来のノボラック樹脂では不足していた耐熱性を飛躍的に改善。
- また、KrF等で一般的に用いられる高感度ポリマであるPHS樹脂と比べ、約1.5倍の耐熱性を付与できます。
- これらの特徴をもつPR-700シリーズは、現像速度違いで3グレードをラインアップしているため、貴社のご要求に合わせた製品をお選びいただけます。
②半導体品質＝低メタル管理が可能
- 独自の精製技術により業界最先端レベルの金属低減処理・管理が可能です。
- ポリマ製品の主力工場の一つに専用設備を導入し、半導体品質を維持・管理しています。
③顧客の処方にあわせた対応（カスタマイズ・各種溶媒対応）
- DICにはこれまで培った樹脂合成技術があるため、貴社のご要望にあわせた設計カスタマイズも可能です。
- また、半導体レジストで一般的に用いられるPGMEA、GBLなどはもちろん、貴社の希望に応じた様々な溶媒への対応が可能です。
事実、DICは半導体・ディスプレイ用途の先端i線レジストで採用・量産実績もあり、加えてPR-700シリーズは次世代製品用途で多数の引き合いをいただいております。
メディアでもDICのレジストポリマ事業がとりあげられています。
＜メディア掲載情報＞
掲載日 ：2022年 3月11日
掲載媒体：化学工業日報
タイトル：展望2022トップインタビュー「DIC・猪野薫社長に聞く」
貴社もPR-700シリーズを導入することで、
他社に先駆けた高感度ｉ線レジストの開発をしませんか？
具体的な案件がある方に、PR-700シリーズの特徴（感度・現像特性・耐熱性など）が
分かるご紹介資料をお配りしております。
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